作者：马炳和,王辉,苑伟政 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2010年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2010010140 DOC编号：DOCZGJX2010010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式，探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法，借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念设计时如何通过行为匹配自动检索出相关组件及其行为链组合、通过对行为链组合进行功能结构细化获得备选的器件方案。结合航空及空气动力学领域急需的MEMS微型剪应力传感器实例对该概念设计方法进行了阐述。研究表明，该方法对于提高MEMS概念设计效率及方案创新能力、促进MEMS概念设计工具化有积极作用。

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