作者：纪科星,宋宏伟,范学军 单位：中国力学学会;中国科学院力学所 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLXYS2010010150 DOC编号：DOCLXYS2010010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于结构组件库的MEMS概念设计方法》PDF+DOC2010年第01期 马炳和,王辉,苑伟政 《水下MEMS壁面剪应力传感器标定方案仿真分析与实验验证》PDF+DOC2016年第02期 黄欢,孙海浪,田于逵,张楠,谢华,沈雪 《无引线封装高温压力传感器》PDF+DOC2014年第12期 田雷,尹延昭,苗欣,吴佐飞 《水下平板壁面剪应力MEMS测量研究进展》PDF+DOC2017年第03期 田于逵,张璇,沈雪,孙海浪,谢华,张楠 《一种扭转谐振式MEMS电场传感器》PDF+DOC2019年第06期 储昭志,彭春荣,任仁,凌必赟,张洲威,夏善红 《激光声光调Q技术的研究》PDF+DOC1978年第Z1期 黄国标,张渝楠,刘扬满,董沙雷 《MEMS材料力学性能的测试技术》PDF+DOC2002年第04期 张泰华,杨业敏,赵亚溥,白以龙 《微机电系统(MEMS)硅压阻式压力传感器分析研究》PDF+DOC2011年第06期 李烨,石鑫 《一种高温下高灵敏光纤光栅温度传感器的制作方法》PDF+DOC2009年第01期 李阔,周振安,刘爱春,王秀英 《带有铝板复合材料层板固化过程中残余应力演化》PDF+DOC2007年第S1期 胡照会,王荣国,赫晓东,赵海涛

    • 采用理论分析与数值模拟相结合的方法，研究了残余应力对静电反馈式MEMS高温剪应力传感器的结构设计的影响.研究表明：在电极宽度和间距不变的情况下，增加电极数和减小电极长度可有效地减小由静电力引起的应力和变形；残余应力对结构应力和变形的影响远大于静电力。

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