作者：李金平,史鑫,王晔,孙立凯,张鹏 单位：中国电子科学研究院 出版：《中国电子科学研究院学报》2014年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJPL2014060200 DOC编号：DOCKJPL2014060209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种自主定向的磁复合三维MEMS矢量水听器。该矢量水听器采用三维MEMS加速度传感器与磁传感器结构复合设计，并采用与信号处理电路紧靠方式，可减小噪声干扰及抑制信号衰减。通过磁复合三维MEMS矢量水听器解决单个矢量水听器定向精度不高问题。该矢量水听器完成了水下驻波场测试和无磁转台测试，测试结果验证了利用磁传感器补偿矢量水听器定向方法的可行性。

    📙 相关资料

    1. 《面向MEMS加速度传感器的仪表放大器的设计与实现》PDF+DOC 加速度传感器已经广泛应用于军事、工业、环境监测等领域，已经成为热点的研究对象，但是器件的小型化与可靠性成为限制该技术发展的重要瓶颈；因此，针对新型硅基MEMS加速度传感器的信号处理电路小型化的问题，提出了一种与MEMS技术完全兼容基于CMOS工艺的片上集成运算放大器电路；通过提取分析相关加速度传感器......
    2. 《磁方位修正MEMS矢量水声传感器研制》PDF+DOC 介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子，并与信号处理电路紧靠方式设计，可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术，对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正，解决了单个矢量水声传感器定向精度不高问题。传感器完成了国家一级计量站标定和磁方位......
    3. 《三维压电加速度传感器的设计》PDF+DOC 设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器，传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算，研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速......
    4. 《地震勘探用三维MEMS加速度传感器的研究》PDF+DOC 以MEMS加速度传感器为基础的新型数字地震检波器是地震勘探所用仪器的发展方向之一。介绍了一种三维MEMS加速度检波器结构，这有别于传统三分量MEMS传感器通过用3只MEMS加速度传感器按正交直角组装。并通过PSpice软件对其进行了整体仿真，仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析的结果吻合。...
    5. 《基于MEMS三维磁阻传感器的电子指南针的研究》PDF+DOC 介绍了一种基于MEMS的三维磁阻传感器和加速度传感器的电子指南针系统。相对于由两轴磁阻传感器制造的电子指南针，该系统能够有效补偿倾斜角产生的误差。重点介绍了该系统的测量原理、硬件设计、软件流程。通过中位置均值滤波、限幅滤波、一阶滞后滤波，最大误差控制在1&#176；以内。实验结果表明：本系统......
    6. 《基于MEMS传感器的模拟云台探测系统》PDF+DOC 本文提出了一种基于MEMS传感器的模拟云台探测系统，该系统由一个双轴加速度传感器和一个三轴地磁传感器及单片机组成。双轴加速度传感器测量云台的倾角，三轴地磁传感器测量云台的方位角，由此，可以获取模拟云台的实时方位信息，并可传送给监控系统的上位机。通过实验，该系统的误差在1&#176；左右，可以......
    7. 《基于MEMS加速度的三维无线鼠标设计与实现》PDF+DOC 当前市面上可见鼠标大部分采用光电技术，然而这些技术不能离开辅助桌面来确定位置。不同于前面的研究，本文利用三轴加速度倾斜角测量特性，而不是位移和加速度关系，来实现三维空间无线鼠标，能够减小噪声影响，并消除了传统鼠标辅助台面的束缚，可以在三维空间中自由运动。...
    8. 《基于C8051F005单片机和MEMS加速度传感器ADXL311的倾角仪》PDF+DOC 提出了一种基于C8051F005单片机和ADXL311双轴加速度传感器的数字式倾角仪的设计方法，并介绍了其软硬件的实现。该倾角仪的工作原理是依次在0&#176；、90&#176；、180&#176；3个不同位置，由C8051F005单片机A/D转换进行定标，然后将处理后的数据......
    9. 《Analog Devices开发出新型封装技术面向MEMS组件晶圆级低成本封装》PDF+DOC 美国模拟器件(Analog Devices)开发出了利用铝-铝结合的新型封装技术。该技术可用于面向MEMS组件的晶圆级低成本封装，以及三维组件的层叠。模拟器件计划在2009年使该技术达到实用水平。该公司拥有在加速度传感器和角速度传感器等MEMS组件方面的量产业绩，并将应用范围从最初的汽车扩大到了消费......
    10. 《基于微电铸的非硅MEMS加速度传感器》PDF+DOC 简单介绍了Silicon Design公司开发的非硅MEMS传感器的设计、工艺、输出信号的处理技术。通过巧妙设计和使用铸Ni技术成功地改善了梁的扭摆特性。实测结果表明，10g产品的输出交流噪声有效值和漂移被分别控制在0.4mV和4 mV；50g产品虽然漂移偏大，但其线性系数K2还是达到了10-3～1......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。