作者：王大甲,胡放荣,姚军,邱传凯,王爱娜 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008080090 DOC编号：DOCCGJS2008080099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于探测的原理，在动态模式下，首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析，结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算，获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外，通过静态模式下的有限元计算，发现各种梁自由端的偏移量相同，表明它们的静态灵敏度与形状无关。最后，对三角形梁在不同测量模式下结构参数的优化设计进行了分析。

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