《梳状电极双轴微机械加速度计的研制》PDF+DOC
作者:陈伟平,赵振刚,丁金玲,刘晓为,马原芳
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2008年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2008040150
DOC编号:DOCCGJS2008040159
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械加速度计内部噪声影响的对比分析》PDF+DOC2012年第02期 张霞,闫社平
《一种微机械加速度计的自检测特性研究》PDF+DOC2008年第03期 陈伟平,韩天,赵振刚,刘晓为,孙立宁,曹伽牧
《一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)》PDF+DOC2007年第02期 陈健,陈德勇,王军波
《基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文)》PDF+DOC2007年第03期 陈健,陈德勇,王军波
《微机械热对流加速度传感器可靠性研究》PDF+DOC2003年第Z1期 杨拥军,吝海锋,师谦,徐爱东
《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC2011年第12期 李晶,樊尚春,李成,余朝发
《MEMS质量流量计在城市天然气计量的应用》PDF+DOC2011年第11期 谭小平,吴德才,黄立基
《微机械双轴电容式加速度传感器设计》PDF+DOC2014年第09期 沈文清,胡芳菲
《数模混合式微机械加速度计系统仿真与优化》PDF+DOC2013年第06期 张霞
《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC2013年第06期 张霞
提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±;50gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳状电极结构。利用有限元分析软件分析得到本文所设计的双轴加速度传感器微结构整体质量为1.174mg,X、Y轴的灵敏度皆为2.3fF/g,模态分析结果表明,第一和第二模态振型为两敏感方向的振型,且谐振频率分别为2774Hz,2775Hz。经过MEMS加工工艺制作出的芯片尺寸为5260μm×;5260μm。经过测试,此双轴加速度传感器的电学灵敏度为33.78mV/g,谐振频率为2.4KHz,带宽可达到1.5KHz。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。