《一种微机械加速度计的自检测特性研究》PDF+DOC

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2. 《一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)》PDF+DOC 为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度，提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理，推导该结构的理论模型，得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上，为了进一步提高微杆杠的放大倍数，对其参数进行优化，分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响，优化后该结构的放大倍数高达200.基于这......
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