作者：孟美玉,石云波,刘俊,祁晓瑾 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008020100 DOC编号：DOCCGJS2008020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对侵彻过程中传感器过载失效的问题，提出了一种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器。该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5μm，为系统提供空气阻尼使其处于最佳阻尼状态，同时玻璃底盖起到了过载保护作用，仿真分析表明该结构可承受200000 gn的加速度载荷。最后对加工出的加速度计进行初步的测试，其灵敏度为4.5μV/g，线性度为3.1%。

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