作者：肖沛宏,付兴铭,谭六喜,姚媛 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2007年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2007030020 DOC编号：DOCCGSJ2007030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《提高压力传感器引线键合质量的工艺研究》PDF+DOC2010年第03期 李颖,张治国,张娜 《硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力》PDF+DOC2008年第02期 许东华,张兆华,林惠旺,刘理天,任天令 《多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算》PDF+DOC1999年第11期 姚素英,曲宏伟,张维新,毛赣如,李永生 《C型压力传感器结构偏差对传感器灵敏度的影响》PDF+DOC1996年第09期 丁艳萍,吴坚民,郑殿忠 《SOI压力传感器的发展》PDF+DOC1994年第10期 白韶红 《压阻式压力传感器零点输出研究》PDF+DOC2002年第07期 李晶晶,岳瑞峰,刘理天 《平膜片式压力传感器有限元分析》PDF+DOC2001年第02期 任钧国,王洪业,欧阳勇 《基于镍钯金PCB的数字声传感器键合工艺研究》PDF+DOC2011年第02期 于金伟 《低量程高精度应变式压力传感器研制》PDF+DOC2009年第04期 于炜,杨梅,湛华海 《微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备》PDF+DOC2013年第05期 陶也,曾毅波,刘畅,林杰,郭航

    • 本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线，在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究。首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况，然后利用有限元方法对引线在20g的加速振动下的疲劳和寿命进行了分析，并利用了概率上的冗余理论对键合工艺提出了改进，最后给出了实际的结果，证实了模拟和改进工艺的合理性。

    📙 相关资料

    1. 《提高压力传感器引线键合质量的工艺研究》PDF+DOC 不同的键合工艺参数的设置及匹配会对引线键合质量构成显著影响，进而影响压力传感器的可靠性。首先对压力传感器引线键合工艺进行了简要介绍，然后对如何进行引线键合工艺参数的优化控制进行了系统描述，最后结合实际提出了压力传感器常见的引线键合失效模式、质量控制方法及测试结果，在压力传感器的引线键合工艺中具有很好......
    2. 《硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力》PDF+DOC 硅玻璃阳极键合技术因键合强度高，工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术。但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力。实验采用有限元方法对硅玻璃阳极键合进行了系统的力学分析以减小残余应力对器件性能的影响。实验中采用硅玻璃阳极键合......
    3. 《多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算》PDF+DOC 本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律，优化多晶硅应变电阻的设计，弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点，研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度.计算分析结果与实验基本相符...
    4. 《C型压力传感器结构偏差对传感器灵敏度的影响》PDF+DOC 本文通过有限元方法对C型压力传感器的应力分析，给出了传感器结构偏差对压力传感器的性能尤其是灵敏度的影响。...
    5. 《SOI压力传感器的发展》PDF+DOC 介绍了全SOI工艺和局部SOI工艺的原理、制作过程、特点和应用范围，叙述了SOI压力传感器的发展趋势，重点对SDB、SFB、SOS、SOZ、SIMOX、ZMR等压力传感器的工艺结构、主要技术性能、应用特点等作了较全面的分析，从而得出具有较广阔应用前景的结论。...
    6. 《压阻式压力传感器零点输出研究》PDF+DOC 使用有限元方法 ，分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ，结果表明 ：由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ，即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ，传感器也可能存在零点输出。...
    7. 《平膜片式压力传感器有限元分析》PDF+DOC 本文用有限元方法分析平膜片式压力传感器弹性元件表面径向应变及切向应变与薄膜应变片阻值变化的联系后 ，根据电桥原理得到与其输出电压之间的关系 ，最终并分析了传感器之非线性精度 。...
    8. 《基于镍钯金PCB的数字声传感器键合工艺研究》PDF+DOC 本文介绍了数字传声器的关键结构，并基于其焊接及键合工艺的特点引入了镍钯金PCB，实现了其高可靠性的连接；并根据键合工艺的的要求，进行了一系列引线键合实验，取得了相关数据，得出了相匹配的皮膜厚度参数。...
    9. 《低量程高精度应变式压力传感器研制》PDF+DOC 为了提高低量程应变式压力传感器的精度，将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合，构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配，找到了最佳参数值，并制作实物加以验证，表明所选参数是适当的，使传感器的精度得到了大幅度提高，满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传......
    10. 《微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备》PDF+DOC 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器的基本参数，而后在制备中，发展了一种新型的硅基薄膜制作方法，即利用硅-玻璃键合工艺，结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法，得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜，为......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。