作者：刘治华,王春丽,杨杰伟,孟令启 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2007年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2007020020 DOC编号：DOCWXJS2007020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了测试微观条件下材料表面的摩擦学性能，给出了一种微摩擦力的光学测试方法。基于MEMS工艺制作了硅微力传感器，通过标定的方法得到了微力与传感器的变形量之间的关系，采用光反射的方法测量了试验过程中传感器的变形量，进而通过数据处理得到微摩擦力。简要介绍了微摩擦力的光学测试原理，给出了硅微力传感器的结构及制作过程，并对铜和铝的表面进行了微摩擦力测量。初步试验结果表明，该方法具有测试精度高、重复性好、系统性能稳定的优点，能满足微机电系统中摩擦力测试的需要。

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