作者：孙立宁,陈涛,邵兵,李昕欣 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第08期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009080180 DOC编号：DOCGXJM2009080189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为使夹持器小型集成化且夹持力可控，采用体硅加工技术研制了一种基于单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻检测技术为基础，利用MEMS侧面压阻刻蚀工艺将力传感器集成在微夹持器的夹持臂末端，实现夹持力的微力检测。采用有限元软件分析，微夹持器机构和传感器弹性体，并通过S型柔性梁结构的设计将梳齿驱动的直线运动转化为夹持臂末段的转动，然后结合四臂式的末段结构，有效地扩展夹持器的夹持范围。利用硅玻璃键合技术实现夹持臂的电隔离，通过施加80V电压，夹持臂的单臂运动范围为25μm，夹持器的夹持范围为30～130μm。实验标定出传感器的最大量程在1mN以上，分辨率为3μN，可以实现夹持力的有效反馈。

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