作者：李阳,曹民,胡秀娟 单位：信息产业部数据通信科学技术研究所 出版：《数据通信》2018年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSJTX2018010070 DOC编号：DOCSJTX2018010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对人工智能领域，研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求，设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器，微机电压力传感器尺寸更小，灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路，电桥的输出电压与应力大小呈线性关系，输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件建模仿真来研究压敏薄膜的尺寸，材料与结构，找出薄膜参数与传感器灵敏度的数据关系，借助数据分析得出最优的设计选择。

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