作者：张洪泉,施云波,郭建英 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052160 DOC编号：DOCCGJS2006052169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了基于MEMS技术，将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构，并成为Al2O3-Pd-Th0-SiO复合催化剂的载体，实现催化元件和补偿元件的单片集成，制作出LPG传感器.单桥结构尺寸为1mm&#215；1.2mm，厚度为30-35μm，利用铂薄膜制做加热器，并经反溅刻蚀和激光修调，形成标称阻值(0℃)为10Ω的热敏感电阻.传感器性能测试结果表明：微双桥催化LPG传感器具有输出信号与气体浓度呈线性特性，可实现体积分数(500~10000)&#215；10-6LPG检测，同时，测试了温度范围为10-50℃和湿度范围为10-90%RH的传感器温湿度特性，结果证明：微双桥催化LPG传感器输出最大偏差为1.2mV，相当于体积分数600&#215；10-6的LPG浓度。

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