作者:张辉军,穆长生 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2006年第09期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2006090080 DOC编号:DOCCGQJ2006090089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究》PDF+DOC2006年第S2期 张辉军,穆长生,王璐 《掺Fe~(3+)TiO_2薄膜型氧气传感器研究》PDF+DOC2011年第04期 王巍,王晓磊,代作海,唐政维,李银国,徐洋,白晨旭 《不同金属掺杂对TiO_2薄膜氧敏性能影响》PDF+DOC2011年第02期 王巍,王晓磊,代作海,王颖 《TiO_2纳米薄膜的制备与氧敏性能的研究》PDF+DOC2000年第06期 谢少桥,徐廷献,徐明霞 《胶体敏感膜技术取得进展》PDF+DOC1996年第03期 文谦,刘锦淮,张耀华 《多弧离子淀积TiO_2气敏薄膜材料》PDF+DOC1996年第02期 姜涛,吴一平,乔学亮,陈建国 《一种高精度薄膜压力传感器》PDF+DOC1991年第01期 钱俞寿,陈国平,王平 《薄膜传感器的发展和展望》PDF+DOC1990年第02期 张承芬 《薄膜式锰铜传感器的超高压力标定》PDF+DOC2001年第S1期 杜晓松,郝建德,杨邦朝,周鸿仁 《磁控溅射法制备NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器》PDF+DOC2006年第02期 贾颖,孙宝元,曾其勇,徐静
  • 采用薄膜技术研制了一种以硅PN结结构为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程及其特性。给出了磁控溅射工艺制备银电极及TiO2薄膜的方法,利用X射线衍射(XRD)标定了TiO2薄膜的金红石相晶体结构,通过扫描电镜(SEM)分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构,讨论了TiO2的氧敏感机理,测试薄膜的敏感特性及响应特性。实验结果表明:硅PN结基底TiO2氧传感器具有工作温度低、低功耗、体积小、线性化好的优点。

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