作者：高 单位：中国科学院上海技术物理研究所 出版：《红外》2006年第10期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWAI2006100150 DOC编号：DOCHWAI2006100159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片，该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下：

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