作者：郑玮玮 单位：浙江省科学技术协会 出版：《科技通报》2018年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJTB2018080160 DOC编号：DOCKJTB2018080169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现对超微小压力的测量，设计了一种具有抗过载能力和高灵敏度的二岛梁膜结构，并对此结构进行了有限元分析。结果表明，在中心和边缘的沟槽中存在的极端应力。电阻设置在凹槽上，构成一个全桥，使电路的电压输出达到最大值。灵敏度可以达到最大值。

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