作者：李晨,谭秋林,洪应平,葛冰儿,王伟,熊继军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013090050 DOC编号：DOCBDTQ2013090059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对所制备的微机械无线、无源压力传感器的特点，完成了压力传感器的测试与标定。提出了一种测试与标定方法。以压力控制器输出的压力信号为标准信号源，并利用阻抗分析仪测量传感器谐振频率，克服了传统测试方法复杂、精度低等缺点。通过模拟传感器的工作环境来建立压力传感器标定系统平台，根据压力控制器气压参数和传感器谐振频率参数拟合出压力-频率传输直线方程，结合反函数标定法实现传感器的标定。测试结果表明：该测试与标定的方法简单，适用于大多数无线、无源压力传感器。

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