作者：刘波,李平,丁立莉,刘卿,李鹏 单位：中国航天科技集团公司第五研究院510研究所 出版：《真空与低温》2014年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKDW2014020090 DOC编号：DOCZKDW2014020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着科学技术的发展，各种类型真空传感器在真空测量设备中得到广泛应用，日常测量和校准问题也日益得到相关计量部门的关注。通过对压阻式真空传感器使用原理的分析，采用比较法真空校准装置，获得真空变量与测量输出信号间的函数关系，对照测量误差是否在准确度等级范围内，准确判断测量结果与被测量真值的一致程度，解决该类型真空传感器的测量和校准问题。

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