作者：郑小东,于江江,王志亮,张健 单位：南通大学 出版：《南通大学学报(自然科学版)》2013年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNGZK2013020030 DOC编号：DOCNGZK2013020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用湿法化学刻蚀方法制备硅纳米线(SiNWs)，对其进行快速热退火处理，利用水浴法在SiNWs表面生长氧化锌(ZnO)纳米线，制备了ZnO/SiNWs异质结湿度传感器.采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分析了ZnO/SiNWs异质结的表面形貌和结构.测试了ZnO/SiNWs异质结湿度传感器不同湿度环境的电容响应，分析了它的工作机制.测试结果表明：传感器具有相对较大的灵敏度，较短的响应时间，较好的重复性、湿滞特性和稳定性，从而说明ZnO/SiNWs异质结在湿敏领域有很好的应用前景。

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