作者：姜志国,陈玉玲,史岩峰,于洋,方贺兴 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017050330 DOC编号：DOCCGQJ2017050339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的高频响三轴加速度计，内部集成滤波电路和放大电路，实现了传感器与变换器的一体化。电路设计简单可靠，功耗低，稳定性好。电路板的结构采用刚挠结合印制板的设计，保证了传感器输出的高精度和低噪声特性。整机结构体积小巧，刚性好，3个方向的频率响应均可以达到5 k Hz，实现了一个测点3个方向高频加速度参数的测量。通过性能指标校验和实验验证，证明传感器具有测量精度高、热灵敏度漂移小、横向效应低等优点，可应用于航空航天等领域。

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