作者:杜彬 单位:山西省电子工业科学研究所;山西省电子学会 出版:《山西电子技术》2018年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSXDS2018060070 DOC编号:DOCSXDS2018060079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究》PDF+DOC2015年第04期 李策,石云波,刘欣 《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究》PDF+DOC2011年第07期 石云波,李平,朱正强,刘俊,张晓明 《一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试》PDF+DOC2009年第08期 朱政强,石云波,刘晓鹏,张琼 《基于非晶碳膜压阻效应的MEMS压力传感器研究》PDF+DOC2020年第06期 马鑫,张琪,郭鹏,同笑珊,赵玉龙,汪爱英 《地震勘探用三维MEMS加速度传感器的研究》PDF+DOC2012年第04期 谌贵辉,刘建生,李礼,杨帆 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC2011年第08期 赵锐,石云波,唐军,刘俊 《一种MEMS胎儿心率测量仪的设计与仿真》PDF+DOC2008年第04期 杨红红,毛尧辉,高满屯,苑伟政 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC2014年第02期 李晓博,赵玉龙,程荣俊 《集装箱用电容式加速度传感器的热变形分析》PDF+DOC2013年第01期 吕海峰,彭小明,刘静 《MEMS压力传感器技术最新进展》PDF+DOC2013年第04期 李昕昕
  • 通过设计一个量程为15万克、抗过载为20万克的抗高过载能力的MEMS加速度传感器,分析了多种传感器的利弊,选择压阻式加速度传感器作为研究对象。创建该加速度传感器结构的力学模型,然后在模型上分析其结构的应力、频率及阻尼进行分析,完成结构参数的优化及确定。在ANSYS环境下,通过对结构的静态和模态仿真分析了该传感器的测量范围、安全系数、抗过载性能、频率响应及响应时间,确保该结构在20万克过载环境下可以安全可靠的工作。同时,根据静态应力仿真结果进行压敏电阻位置及结构参数的优化[1]。

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