《基于介质嵌层的热电式微波功率传感器特性研究》PDF+DOC

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2. 《基于单片式微波集成电路的终端式MEMS微波功率传感器(英文)》PDF+DOC 提出了一种基于塞贝克效应的终端式MEMS微波功率传感器，该传感器的制作工艺与GaAs单片式微波集成电路(MMIC)工艺兼容。利用热电偶检测温度差，生成与微波功率成比例的直流电压，由GaAs/Au热电偶串联构成热堆。传感器将电功率转化为热，再间接测量热堆生成的直流电压。采用微机械加工技术，去除了器件底......
3. 《一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟》PDF+DOC 提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构，与传统传感器相比，新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下，模拟了热电堆的温度分布，三明治结构热电堆的温度高于传统结构，因此具有更高的灵敏度。同时模拟了两种结构的阻抗匹配特性，其差异不大，在1~6GHz的频率范围内，......
4. 《MEMS微波功率传感器的共面波导优化设计》PDF+DOC 归纳了目前存在的一些减小共面波导损耗的方法，用HFSS模拟了这些方法的插入损耗和回波损耗.根据微波功率传感器的特点选取了二氧化硅隔离层的结构来制作共面波导，指出了这种结构存在的缺陷，并运用半导体物理的知识解释了造成缺陷的原因，最后提出了改进结构并通过HFSS模拟证实了这些结构的正确性.从最终的结果来......
5. 《基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究》PDF+DOC 近年来，随着微机械加工技术的飞速发展，被广泛应用在微波领域中。微波功率在微波信号的产生以及传输等各个环节的测量是必不可少的，而微波功率传感器是最常见的测量工具，由于传统的微波功率传感器容易造成误差。因此，提出了一种基于MEMS技术的对称式微波功率传感器，本文对此设计进行重点探讨。...
6. 《MEMS微波功率传感器等效电路模型的研究》PDF+DOC 为了提高热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的灵敏度，需要对传感器的热电特性进行研究。首先根据热-电变量之间的等效关系建立了传感器的等效电路模型，利用该模型研究了不同的GaAs衬底厚度对负载电阻电-热转换能力的影响；接着建立理论解析模型研究热传导、热对流、热辐射对不同衬底厚度的传感器的电-热转......
7. 《MEMS微波功率传感器拉格朗日模型的研究》PDF+DOC 为了改善热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的综合性能，首先对负载电阻至热电堆的距离、热偶长度、热偶数目建立灵敏度、噪声系数和时间常数的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了时间常数、噪声系数对于灵敏度的制约作用。然后基于拉格朗日乘数法建立了在特定噪声系数、时间常数限制下的灵敏度优化解析模......
8. 《一种开路短截线结构的耦合式微波功率传感器》PDF+DOC 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构，并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量。该微波功率传感器通过加入阻抗匹配和开路短截线结构实现低损耗和宽频带的在线测量。该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容。测量结果显示，在8GHz～12GHz频率范围内，微波功率传感器的反射系数小于......
9. 《热电式微波功率传感器的优化设计》PDF+DOC 提出了一种热电式微波功率传感器的二维热分布解析模型，通过分析传感器的各种结构参数对热分布的影响，给出了热电式微波功率传感器的优化设计.为了获得高灵敏度，给出了设计膜的厚度、匹配电阻与热电堆热端的距离、热电堆悬浮部分的长度等结构参数的原则，并利用Ansys模拟结果和解析结果进行对比验证，结果显示两者吻......
10. 《一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计》PDF+DOC 提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比，新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上，对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型，进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理，以给定的时间常数......