作者：宋国庆,邹向光,王万生,邵志强,王伟 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2020年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2020080020 DOC编号：DOCCGQJ2020080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状，并根据目前某些关键技术的突破，梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研，对PRVS的发展趋势进行了初步预测。

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