《数字式石英晶振真空计》PDF+DOC

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2. 《石英晶振真空测量计》PDF+DOC 本文提出了以晶振作为传感器对封装腔体内部真空度进行测量的方法，并设计了一套基于晶振传感的真空度测量系统。该系统根据音叉型石英晶振谐振时阻抗与周围压强的关系制作而成。将音叉型石英晶振作为陪片直接封装在MEMS真空封装的壳体中，采用直接数字频率合成器(DDS)作为信号源激励石英晶振，利用相位幅度比较电路......
3. 《QMEMS晶振的MEMS器件真空度测量方法研究》PDF+DOC QMEMS晶振是一种采用MEMS(micro-electro-mechanical system)加工技术充分发挥石英(Quartz)晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振。利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点，提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管壳内部，对MEMS器件......
4. 《压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望》PDF+DOC 评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状，并根据目前某些关键技术的突破，梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研，对PRVS的发展趋势进行了初步预测。...
5. 《基于数字温度补偿晶振的实时时钟电路的设计》PDF+DOC 基于数字温度补偿晶振(DTCXO)的高精度实时时钟电路以其优良的性能已成为军用技术、通讯设备、计量仪表等中高端应用的首选，介绍数字温度补偿晶振电路的设计，该电路利用独特结构的振荡器可对不同精度的石英晶体进行补偿，达到高精度频率的输出，芯片采用标准CMOS EEPROM制造工艺，温度补偿范围在-45～......
6. 《MEMS真空封装的真空度测量》PDF+DOC 本文将音叉型石英晶振作为陪片直接封装在MEMS真空封装的壳体中，采用直接数字频率合成器(DDS)作为信号源激励石英晶振，利用相位幅度比较电路比较石英晶体两端信号的相位和幅度并输出相应的电压信号，经过A/D转换后送至单片机，经过处理和标定后用于测量和监控MEMS封装内部的真空度。运用该方法测试发现ME......
7. 《石英真空计及其应用》PDF+DOC 石英真空计测量范围是10~(-1)Pa-10~5Pa。石英真空计的优点是传感器体积小，耗电功率小，精度较高，量程较宽，因而它将会有广泛的应用。...
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9. 《真空计的发展概况与趋势》PDF+DOC 真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域，种类繁多，样式各异。真空计的微型化是其主要发展趋势。概述了真空计的发展历程，重点对近年来真空计的最新发展作了梳理，并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想。...
10. 《一种音叉式液体密度传感器的研究》PDF+DOC 由于在某些特殊环境场合要求通过细小的孔径对内部的液体密度进行检测，为此设计了一种音叉振动式液体密度传感器。在简要叙述其工作原理的基础上，介绍了该传感器谐振电路的设计。指出温度特性是影响传感器性能的关键因素，为此该系统摒弃传统的硬件补偿方法，引入了软件温度补偿法。实验结果表明：该传感器精度高，调试方便......