作者：吕艳华,商娅娜,刘奂奂,庞拂飞 单位：中国电子科技集团公司第三十四研究所 出版：《光通信技术》2019年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTXS2019090110 DOC编号：DOCGTXS2019090119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现薄膜厚度的精确控制从而提高传感器灵敏度，设计了一种基于准分子激光微加工光纤法布里-珀罗(F-P)腔的压力传感器，该F-P腔传感器是在光纤陶瓷插芯的端面上集成刻蚀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜而构成。通过准分子激光对PET膜的刻蚀，精确地控制F-P腔的深度与面积。该传感器在0～1070 Pa的范围内表现出3. 3 nm/kPa的敏感度。

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