作者：张焕卿,李龙飞,白雪婧,王德波 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2019年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2019030140 DOC编号：DOCMINI2019030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 建立了MEMS悬臂梁的静态、动态力学解析模型。采用遍历搜索和龙格库塔算法，分析了在静电力作用下MEMS悬臂梁的运动规律。考虑到MEMS悬臂梁的引入对检测系统匹配特性的影响，在建立的力学模型的基础上研究了系统匹配特性的解析模型，得到MEMS梁与下拉极板的间距改变对系统匹配特性的影响。在8～12 GHz范围内，在8、9、10、11、12 GHz处的回波损耗仿真结果分别为-22.044 6、-21.141 5、-20.281 7、-19.562 0、-19.155 6 dB，而回波损耗测试结果分别为-22.044 6、-20.931 0、-19.948 2、-19.072 2、-18.285 2 dB。实验结果表明，通过建立的力学解析模型、匹配特性模型仿真得到的回波损耗仿真结果与测试结果较吻合，这对改善电容式微波功率检测系统的综合性能具有一定的指导意义。

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