作者：魏良栋,戴瑞萍,陆颢瓒,王德波 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2018年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2018090010 DOC编号：DOCGXJM2018090019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了降低双通道MEMS微波功率传感器的回波损耗，提高传感器的测量精度，对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究。首先，通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的理论解析模型，分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性，得到了MEMS悬臂梁的间距和回波损耗系数S11的关系；接着利用有限元软件HFSS进行仿真，并和理论结果比较；然后，设计并制作了双通道微波功率传感器；最后，对该传感器的匹配特性进行了测试和分析。实验结果表明：当MEMS悬臂梁的间距为1.6μm时，该传感器在测量8~12GHz频率内的微波信号时，回波损耗小于-19dB。理论和仿真结果较为相符，因此S参数的理论解析模型可以较好地反映双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性，对双通道MEMS微波功率传感器的设计具有一定的指导意义。

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