作者:郭联峰,许宗珂,段国韬,李铁 单位:郑州大学 出版:《郑州大学学报(工学版)》2016年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZZGY2016030090 DOC编号:DOCZZGY2016030099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m~3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m~3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用。

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