作者:孙青云,朱亦鸣,陈麟 单位:中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所 出版:《光学仪器》2017年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXYQ2017060090 DOC编号:DOCGXYQ2017060099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计了高Q值表面等离子体传感器,传感器芯片的基底为200μm厚的石英材料,上层为复合结构金属层。为保证高效传输,它的等离子体波导由共面波导结构(coplanar waveguide,CPW)过渡引出,经由表面等离子体传输线传输至谐振环,从而共振模式可以由等离子体波导和谐振环的相互耦合共振产生。通过仿真,对不同模式下的电场分布图对应谐振环的闭合状态进行研究,在传输系数S21图上得到6个明显的谐振谷,其中有3个谷的Q值十分高,这6个谐振谷的Q值范围为44.6~268.3。

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