作者：彭勃,王璐,陈雪冬 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2001年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2001010110 DOC编号：DOCCGJS2001010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了力平衡式硅加速度计的设计 ，勾画了 MEMS产品的一般设计思路和方法 .微结构与电子线路这两个相互依存的设计部分的有效结合保证了整个系统的最终性能与特性 .因此 ，系统的考虑和兼顾的设计正是一个机电混合系统的设计准则

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