作者：张为,姚素英,刘艳艳,王涌萍,阎富兰,田莉萍,牛秀文 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2001年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2001060090 DOC编号：DOCMINI2001060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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