《镱薄膜应力传感器的工艺研究》PDF+DOC
作者:杨春晖,罗南林,熊兴邦,左齐鸣
单位:中国兵器工业集团新技术推广研究所
出版:《新技术新工艺》2000年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXJXG2000050030
DOC编号:DOCXJXG2000050039
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介绍了镱薄膜应力传感器的工艺设计和制造过程 ,通过传感器的静态、动态标定及材料测试 ,验证了新的工艺设计和制造过程是正确可行的
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