作者：葛立峰 单位：安徽大学 出版：《安徽大学学报(自然科学版)》2000年第03期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFAHDX2000030110 DOC编号：DOCAHDX2000030119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于C-SOI工艺的一维MEMS电容式超声传感器阵列》PDF+DOC2015年第03期 李玉平,何常德,张娟婷,张慧,宋金龙,薛晨阳 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第01期 焦正,吴明红 《世界高级传感器市场潜力巨大》PDF+DOC1995年第03期 《声学传感器》PDF+DOC1992年第02期 G M Sessler,张晓蓉 《新的电声换能器件》PDF+DOC1986年第06期 G.M.Sessler ,张银华 ,丁蔚 《硅基驻极体微型声-电传感器的研究现状》PDF+DOC2001年第07期 夏钟福,邱勋林,朱伽倩,张冶文 《机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器》PDF+DOC2012年第06期 赵玉龙,刘岩,孙禄 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧 《电容式MEMS超声传感器设计与分析》PDF+DOC2014年第11期 李玉平,何常德,张娟婷,张慧,宋金龙,薛晨阳

    • 对 2 0世纪声学测量静电 (或电容 )传感器的实验和理论的进展作了简短综述。重点放在微加工传感器及其理论建模。本文还讨论了传感器的分类 ，当前发展趋势和应用前景 ，显示了微加工声和超声传感器正将声学测量推进到一个全新的发展阶段。

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