《硅微结构加速度传感器稳定性的研究》PDF+DOC
作者:洪连进,刘丽华
单位:哈尔滨理工大学
出版:《电机与控制学报》1999年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDJKZ1999010150
DOC编号:DOCDJKZ1999010159
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,丁雪梅
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对均匀间隙和不匀均间隙式电容传感器的稳定性进行了分析,给出这两种临界极化电压及可动系统临界位移的计算方法,并针对实际传感器进行了计算。
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