作者：杨恒,鲍敏杭,沈绍群,李昕欣,任建军 单位：复旦大学 出版：《复旦学报(自然科学版)》1999年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFDXB903.0050 DOC编号：DOCFDXB903.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 分析了在微机械传感器与执行器中常用的３种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的１／３，其他２种结构在静电力作用下极板中心处的最大平衡位移均略小于无静电力时极板间距的１／３

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