作者：金磊,高世桥,李文杰 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2000年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2000020100 DOC编号：DOCCGQJ2000020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • ：围绕加速度信息 ，探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ，提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ，并根据典型的弹性质量系统 ，建立了其过载变形的模型 ，给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。

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