作者：张晓群,吕惠民 单位：航天科技集团公司九院七七一所 出版：《微电子学与计算机》1999年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXYJ1999020040 DOC编号：DOCWXYJ1999020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文章在全面考虑横向和纵向灵敏度系数对压力传感器线性度影响的基础上，给出了圆平膜片压力传感器在两种薄膜应变片基本布置方式下传感器灵敏度的实用计算公式。虽形式上比较复杂，但计算结果更接近薄膜压力传感器的实际情况，适合于用来对敏感膜片进行线性度的优化设计。

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