《应用SDB技术制造压力传感器》PDF+DOC

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2. 《硅微机械谐振压力传感器技术发展》PDF+DOC 硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一，是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果，简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理，针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结......
3. 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC MEMS高温压力传感器随着新型半导体材料和加工工艺的不断深入研究而迅速发展，近年来这一研究方向涌现出不少研究成果。对国内外具有主导影响的多晶硅、SOI、SOS、金刚石薄膜、SiC、电容式、声表面波、光纤式等几类耐高温压力传感器的研究进展、技术关键及应用情况等做回顾论述，并针对各自的主要优缺点进行对比......
4. 《谐振式MEMS压力传感器的设计与分析》PDF+DOC 提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器，该器件采取面内动平衡的振动模式，为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立，并利用MEMS有限元仿真软件对传感器在0～120 kPa范围以及全范围过压1.5倍下进行模拟分析与......
5. 《创伤弹道学研究用微型高频高压传感器的设计》PDF+DOC 为创伤弹道学研究设计开发了外径6mm，量程20MPa，频响400kHz的可植入生物体内工作的压阻式微型高频高压传感器，背面感压的2mm直径的圆平膜弹性元件设计是最佳选择。激波管动态试验表明传感器的固有频率大于400kHz，上升时间小于1μs。在实验动物猪上，与进口压电传感器同步植入，实弹试验表明，新......
6. 《微型压阻式压力传感器的研制》PDF+DOC 用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。...
7. 《一种可在高温条件下工作的压力传感器》PDF+DOC 本文介绍了一种可以在高温条件下工作的压力传感器。这种以兰宝石材料为感压膜片的压力传感器，由于其应变电阻是外延在绝缘性能良好的兰宝石材料上的，所以这种传感器耐高温，适合在高温条件下使用。传感器的主要技术指标为，量程0—0.6mPa，0—1.0mPa，使用温度为0—300℃，最高可达465℃。精度优于0......
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10. 《单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法》PDF+DOC 介绍了单晶硅压力传感器温度漂移的机理，阐述了采取串并联电阻网络和有源电路分段等综合补偿方法的补偿原理。实验结果表明：在-45~85℃温区内，补偿后，热零点漂移和热灵敏度漂移从&#177；0.5%FS/℃提高到&#177；0.014%FS/℃。...