作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996040140 DOC编号：DOCGJDX1996040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 自1992年12月以来，德国的卡尔斯鲁厄研究中心，在微系统工程项目中，总结了微型化结构、化学传感器、致动器、微电子学、系统科学与材料科学以及制造与连接技术等方面的工作.在这一项目的范围内，大约有230名工作人员从事以应用为目的的微系统开发工作.有的相关基础研究，后来用到了工业部门，此外，这些工作主要与工业合作部门和其他研究机构合作，还有一部分直接受用户委托进行.为了证明微系统工程的实用性，研究中心的专家们给自己定的目标是，制成用在测量与控制技术、通信技术、化学分析和医疗技术方面的原型微系统.其中，基本设想是采

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