《微机械电子学的现状》PDF+DOC

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2. 《对称体微机械电容加速度传感器的结构设计》PDF+DOC 描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度频率积取优值的方法进行加速度计的结构参数优化。采用了一种新颖的微力微位......
3. 《微机械力敏传感器及其发展动向》PDF+DOC 微机械加工技术的出现把传感器，特别是力敏传感器，推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化等优点已成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。...
4. 《微机械技术发展现状》PDF+DOC 介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。...
5. 《微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟》PDF+DOC 本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯ......
6. 《带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺》PDF+DOC 对带质量块的悬臂梁加速度传感器的特殊工艺：硅梁及形状控制的各向异性腐蚀，梁厚的精确控制、双面光刻、有孔硅片匀胶等技术进行了研究，为批量生产克服了工艺障碍。...
7. 《微机械加工技术》PDF+DOC 微机械加工技术是发展微型固态集成传感器，微执行器和微机械构件的一种关键技术，它以硅作为基本材料，集合了精密腐蚀、薄膜生长、硅—绝缘体和硅—硅的键合技术、层间连接技术以及其它集成电路的典型工艺去制造各种三维以硅为基础的微机械和微型器件。本文重点介绍微机械加工的几种关键技术和我们的主要研究结果。...
8. 《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ，此传感器为整体式悬臂梁结构 ，采用硅微机械加工技术制作 ，便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ，两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ，两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布 ，四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接 ；悬臂梁的过......
9. 《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC 随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大，各种类型的微机械加速度计层出不穷，其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高，其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式，以及近年来成为研究热点的光学式加速度计。本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加......
10. 《微机械加工技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC 作为在集成电路技术基础上发展起来的新兴技术，微机械加工技术因其涉及到十分广泛的领域和在使用中体现出来的重要性，受到了社会的普遍关注和重视，包括我国在内的很多国家都对该技术上投入了较多的资金和热情。基于此，本文对微机械加工技术及其在传感器中的应用问题进行了研究，希望通过本文的工作为这一技术的应用提供一......