作者:鲍敏杭,沈绍群 单位:中国电子学会;中国信息产业商会 出版:《电子商务》1996年第10期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZKJ610.0020 DOC编号:DOCDZKJ610.0029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型硅微加速度传感器的设计与制作》PDF+DOC1999年第S1期 李军俊,刘理天,杨景铭 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 王健,江健,穆罕默德 《静电力驱动在现代传感技术中的应用》PDF+DOC2018年第08期 孙浩诚 《单面多层结构硅微压传感器的研制》PDF+DOC1997年第04期 任建军,杨恒,李昕欣,沈绍群,鲍敏杭 《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《基于微悬臂梁的生化传感器》PDF+DOC2004年第06期 曾磊,周嘉,黄维宁,黄宜平 《双E型加速度传感器硅芯片的优化设计》PDF+DOC2003年第01期 唐世洪,张克梅,邓永和,谭子尤 《微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展》PDF+DOC2008年第11期 高伟,董瑛,尤政 《微机械角速度传感器ADXRS401的原理与使用》PDF+DOC2008年第34期 胡国兵 《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC2013年第06期 张霞
  • 微机械加工技术的出现把传感器,特别是力敏传感器,推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化等优点已成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。

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