作者：陈锡明 单位：四川科学技术出版社有限公司 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZRT1988010310 DOC编号：DOCDZRT1988010319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传感器以硅材料为主体，采用各种新材料，制成了各种各样类型，广泛应用于民生机器、产业机器、工业测试设备上，其研究与发展十分活跃.传感器技术利用集成电路技术、薄膜技术、精细加工技术，实现微细化、高集成化、多功能化和高可靠性，取取了惊人的发展. 传感器的感测对象从温度到微生物，范围很广，种类繁多.传感器因用途不同而使用不同的材料、不同的生产技术.这里仅就物理传感器、化学传感器、生物(离子)传感器的发展动向作一简单介绍. 物理传感器——采用精细加工技术制成了微型膜盒式压力传感器、集成电路化微型探头.这种压力传感器将硅进行底部切割腐蚀蚀刻，形成空洞，再用氮化硅将空洞封闭而成，适宜在超小型情况下使用.而微型探头是将进行腐蚀蚀刻，作成探针，

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