作者：谢勇君,白金鹏,史铁林,刘胜 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2005年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ20050500F0 DOC编号：DOCGDZJ20050500F9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术，研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统。系统可进行MEMS面内刚体运动、表面形貌、垂向变形和离面运动的测量。对于面内运动测量，提出了基于立方样条插值的亚像素步长相关模板匹配算法，从MEMS视觉图中提取面内位移，匹配精度为0.02 pixels。对于离面运动测量，采用Hariharan 5步相移干涉(PSI)算法和去包裹算法，离面运动测量分辨率可达1 nm。通过对Si微压力传感器膜和Si微陀螺仪的静动态测试，验证了系统的适用性和可靠性。

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