作者:谢勇君,刘世元,史铁林,来五星,白金鹏,刘胜 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2005年第10期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2005100250 DOC编号:DOCYQXB2005100259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 为使M EM S(m icro e lectro m echan ica l system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法。详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术。通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性。

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