作者:范元斌,赵玉龙,赵立波 单位:中国石油集团测井有限公司 出版:《测井技术》2004年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCJJS2004030180 DOC编号:DOCCJJS2004030189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻力敏感元件的制作方法。对设计制作的耐高温微型压力传感器进行了高温实验。测试结果表明 ,这种新型结构的耐高温微型压力传感器具有较好的静态特性。

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