作者：于艺,于佳,井彬 单位：山西科技新闻出版传媒集团 出版：《科技与创新》2015年第17期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJYX2015170300 DOC编号：DOCKJYX2015170309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高温压力传感器技术研究》PDF+DOC2002年第S1期 赵玉龙,赵立波,蒋庄德 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC2015年第09期 李丹丹,梁庭,李赛男,姚宗,熊继军 《碳化硅高温压力传感器设计及工艺研究》PDF+DOC2020年第05期 肖淼,任向阳,李振波,张治国,李新 《厚膜应变计与传感器》PDF+DOC1997年第10期 尹福炎 《厚膜(陶瓷)压力传感器的发展》PDF+DOC1991年第03期 白韶红 《文摘》PDF+DOC1982年第04期 邢秀琴 《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC2002年第04期 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新 《耐高温压力传感器研究现状与发展》PDF+DOC2011年第02期 张晓莉,陈水金 《LC谐振式压力传感器的高温关键参数研究》PDF+DOC2014年第10期 郑庭丽,赵卫军,梁庭,洪应平,任重,李赛男,熊继军 《SiC高温电容压力传感器封装结构优化》PDF+DOC2013年第03期 屈晓南,胡明,张世名,尹玉刚

    • 压力传感器的发展对测控工作起着重要的指引作用。常见压力传感器的测量温度都在200℃以下，无法精准测量高温下的压力。因此，国内外有很多学者致力于高温压力传感器的研究。主要探讨了高温压力传感器的发展现状、存在的问题及未来的发展趋势。

    📙 相关资料

    1. 《高温压力传感器技术研究》PDF+DOC 提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器，采用耐高温SOI力敏元件以及梁膜组合设计，保证传感器有较高频响的同时，具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力。研制的耐高温压力传感器可以用于0～220℃恶劣环境条件下的压力测量，并能解决1000℃的瞬时冲击。给出了传感器的结构模型和实测数据，得到比较满意结果。...
    2. 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散，刻蚀，氧化，金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片，并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔，最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试，高温压力测试结果表明，在21℃(常温)至300℃的温度......
    3. 《碳化硅高温压力传感器设计及工艺研究》PDF+DOC 碳化硅因其优越的半导体性质和物理性质，在传感器领域具有广阔的应用前景。采用第三代半导体碳化硅材料制备的高温压力传感器可在高温的恶劣环境下表现出极佳的稳定性，实现对压力的准确测量，相关研究工作备受业界关注。针对当前碳化硅传感器研制尚处在初级阶段的现实，介绍几种不同类型的碳化硅压力传感器，并对传感器的设......
    4. 《厚膜应变计与传感器》PDF+DOC 厚膜应变计与箔式应变计、薄膜应变计及半导体应变计共同构成现代力敏传感器的四大关键敏感元件，其发展前景引起了人们极大关注，本文主要就厚膜应变计的导电机理、一般性能，以及它在力(称重)、压力传感器方面的应用情况，加以简要介绍。...
    5. 《厚膜(陶瓷)压力传感器的发展》PDF+DOC 厚膜压力传感器是70年代出现的一类新型传感器，本文介绍了它的原理、结构和特性。...
    6. 《文摘》PDF+DOC 本文介绍了适于自动化应用的压力传感器发展。并对组成该传感器的厚膜电阻器的压阻特性进行了研究。该传感器的敏感元件是由四个厚膜电阻器上的铝膜构成。连结的厚膜电阻器用惠斯登电桥电路隔离和引发。这些传感器的主要特性是；坚固，不移动部件；对自动化环境不敏感；...
    7. 《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC 单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ，与多晶硅高温压力传感器相比有更高的工作灵敏度。这主要得益于它采用了单晶硅膜的 SOI结构。本文给出了这种压力传感器的工艺生产过程 ，并相对深入地讨论了各向异性腐蚀硅杯和静电封接这两道工序。介绍了此......
    8. 《耐高温压力传感器研究现状与发展》PDF+DOC 现有商业化压力传感器绝大多数工作在常温条件下，工作温度高于200℃者尚不多见，远不能满足高温下的压力测量要求，因此对高温压力传感器的研究成为必然。论述了国内外几类高温压力传感器的研究进展、关键技术及应用情况，并探讨了主要存在的问题和未来的发展趋势。...
    9. 《LC谐振式压力传感器的高温关键参数研究》PDF+DOC 无线无源高温压力传感器在高温、高压等恶劣环境中应用日益广泛，其耐高温性能已成为衡量传感器的一项最基本且重要的指标。利用低温共烧陶瓷LTCC(Low Temperature Co-Fired Ceramic)技术，分别设计和制作了陶瓷基片上电感及电容器件，并进行高温特性测试，通过讨论和分析确定了造成电......
    10. 《SiC高温电容压力传感器封装结构优化》PDF+DOC 高温压力传感器，在航空航天及工业领域有广阔的应用前景。由于工作在高温环境中，需要进行封装结构和优化，以减小器件因热膨胀系数不匹配而产生的热应力。以热机械方程为理论基础，利用ANSYS Workbench计算机仿真工具，通过计算被封装元件表面的Von-Mises应力，调整衬底直径、衬底厚度以及粘合层厚......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。