作者:余丹铭,梁利华,许杨剑 单位:黑龙江省机械科学研究院;黑龙江省机械工程学会 出版:《机械工程师》2004年第07期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXGU2004070040 DOC编号:DOCJXGU2004070049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • MEMS技术作为一门新兴的技术,越来越受到世界各国的重视。文中主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要分析。

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