作者：赵玉龙,赵立波,蒋庄德 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2002年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2002S10140 DOC编号：DOCJXXB2002S10149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器，采用耐高温SOI力敏元件以及梁膜组合设计，保证传感器有较高频响的同时，具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力。研制的耐高温压力传感器可以用于0～220℃恶劣环境条件下的压力测量，并能解决1000℃的瞬时冲击。给出了传感器的结构模型和实测数据，得到比较满意结果。

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