作者：丁群燕,曾鑫 单位：广西机械工程学会 出版：《装备制造技术》2008年第07期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJX2008070450 DOC编号：DOCGXJX2008070459 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 概述了微机电系统的结构和特点，介绍了微机电系统的研究和应用领域。

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