作者：张威,张大成,王阳元 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2002年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2002010100 DOC编号：DOCBDTQ2002010109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。

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