《离子束溅射薄膜压力传感器的动态特性》PDF+DOC

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3. 《溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究》PDF+DOC 磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点，成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层，发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端，引入了先溅射后光刻的制作工艺，实验结果表明，该方法能成功制作出所需的电阻图形。...
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7. 《薄膜压力传感器研究》PDF+DOC 本文阐述了以合金薄膜作敏感电阻的应变式压力传感器的原理、设计方法和工艺技术、分析了各工艺参数对传感器质量的影响，通过试验，提出了一套最优工艺实现方案。研制的薄膜压力传感器性能测试结果表明：这种形式的压力传感器稳定性好，迟滞、蠕变小，是一种很有发展前途的传感器。...
8. 《3CYJ型溅射薄膜压力传感器》PDF+DOC 该型传感器是继研制出2CYJ型溅射薄膜压力传感器之后的又一种应变式溅射薄膜压力传感器，这种传感器用于大压力测量。它具有精度高，迟滞和蠕变小，长期稳定性好等优点。精度可优于0.15%，重复性、迟滞可优于0.05%，工作温度范围为-55℃～+150℃。...
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